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浙江大族富创得请求一种SiC外延兼并拆分模组专利提高晶圆定位准确性
来源:m6app官网 发布时间:2025-06-05 08:38:33
金融界2025年3月26日音讯,国家知识产权局信息数据显现,浙江大族富创得科技有限公司请求一项名为“一种SiC外延兼并拆分模组”的专利,公开号CN 119673846 A,请求日期为2024年12月。
专利摘要显现,本发明触及半导体技术领域,尤其是指一种SiC外延兼并拆分模组,包含存储箱、盘环放置箱、机械手、兼并拆分组织及纠偏渠道,所述兼并拆分组织用于完成石墨环与晶圆或石墨盘的兼并或拆分,所述寻边器设置有榜首定位基准,所述寻边器依照榜首定位基准完成对晶圆的寻边纠偏,以确认晶圆的方位和视点,所述纠偏渠道设置有第三定位基准,所述纠偏渠道依照第三定位基准完成对石墨盘的寻边纠偏,以确认石墨盘的方位和视点;本发明能快速完成石墨环与晶圆或石墨盘之间的兼并与拆分动作,提高晶圆定位准确性,能够独立完成晶圆或石墨盘的寻边纠偏,节约基准校准时刻,下降设备核算复杂度,确保加工质量。
天眼查资料显现,浙江大族富创得科技有限公司,成立于2021年,坐落嘉兴市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。经过天眼查大数据分析,浙江大族富创得科技有限公司参加招投标项目5次,专利信息31条,此外企业还具有行政许可5个。
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